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  • SE-VE光譜橢偏儀
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    SE-VE光譜橢偏儀

    SE-VE光譜橢偏儀基于單旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制技術(shù)一次性獲取Psi/Delta、N/C/S、反射率等光譜，可實(shí)現(xiàn)基底上單層到多層薄膜的膜厚、光學(xué)常數(shù)的快速分析表征

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